- электронно-лучевая микролитография
- electron-beam microlithography
Русско-английский физический словарь. 2013.
электронно-лучевая микролитография
Смотреть что такое "электронно-лучевая микролитография" в других словарях:
Фоторезист — (от фото и англ. resist) полимерный светочувствительный материал. Наносится на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить соответствующее фотошаблону расположение окон для доступа травящих или … Википедия
